Deskripsi
Keterangan
MOCVD Graphite Susceptor adalah komponen penting dalam sistem Metal-Deposisi Uap Kimia Organik (MOCVD). Ini berfungsi sebagai platform konduktif termal bersuhu tinggi yang dirancang untuk menahan dan memanaskan substrat semikonduktor secara merata selama pertumbuhan epitaksi film tipis.
pengepakan dan pengiriman
Paket kotak kayu
fitur
- Konduktivitas termal yang sangat baik untuk perpindahan panas yang cepat dan seragam
- Kekuatan mekanik yang tinggi dan stabilitas dimensi dalam kondisi ekstrim
- Permukaan yang halus dan dikerjakan secara presisi untuk penempatan media yang stabil
- Dirancang untuk mempengaruhi dinamika aliran gas dan gradien termal
keuntungan
- Memastikan ketebalan film seragam dan kualitas kristal unggul di lapisan-epi
- Memungkinkan pengulangan dan hasil proses yang tinggi melalui kontrol suhu media yang stabil
- Memperpanjang masa pakai dan mengurangi kontaminasi partikel karena ketahanan terhadap korosi
- Mempertahankan integritas struktural meskipun siklus termal berulang, memastikan keandalan proses
aplikasi
- Terutama digunakan dalam reaktor MOCVD untuk pertumbuhan epitaksi lapisan semikonduktor senyawa (misalnya GaN, GaAs, InP) pada substrat seperti silikon, silikon karbida, atau safir.
- Penting untuk pembuatan perangkat optoelektronik (LED, dioda laser) dan semikonduktor daya frekuensi radio (RF).
Tag populer: susceptor grafit, produsen, pemasok, pabrik susceptor grafit Cina